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阿克特®电子束评论

先进的显示技术需要越来越多的工艺步骤,从而导致越来越小的污染物,以及新的缺陷类型。

目前用于显示器的在线自动光学缺陷检测工具在区分杀手与非杀手缺陷方面不如扫描电子显微镜(SEM)分析有效。或确定系统性缺陷根源。在引入应用的EBAM审查(EBR)系统之前,对需要将玻璃基板破碎成碎片的显示器进行扫描电镜分析,并在显微镜下分别检查每一块。这不仅成本高昂而且耗费时间,但也使得将缺陷行为与最终设备性能联系起来几乎是不可能的。应用程序通过提供行业最高分辨率和吞吐量的内联扫描电镜审查来解决这些限制,而不需要破坏面板。