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Centura®

我们最通用的平台,超过8,数千个Centura系统已被运往世界各地的客户,以获得无与伦比的应用范围,包括ALD,化学气相沉积法外延生长,蚀刻,光罩制作,物理气相沉积法等离子体掺杂等离子氮化和RTP,以及集成的多步骤工艺,如高k晶体管栅叠制造。